Pengenalan

Pelogaman ialah proses membentuk sentuhan ohm untuk tujuandan penyambungan elektrik antara komponen-komponen dalam litar bersepadu. Pemilihan logam yang sesuai untuk tujuan penglogaman dalam litar bersepadu adalah berdasarkan ciri-ciri berikut:- logam tersebut mestilah pengalir elektrik yang baik(keberintangan rendah), boleh melekat pada permukaan semikonduktur dan silikon oksida, dan yang mempunyai tegasan yang rendah, boleh tahan terhadap elektromigrasi, mudah dimendapkan pada suhu yang tidak terlalu tinggi,mudah dipunarkan untuk menghasil corak yang dikehendaki,stabil sepanjang keseluruhan fabrikasi, tidak menjangkiti peranti, wafer dan peralatan yang digunakan, mempunyai rintangan sentuh yang rendah dan penembusan ke dalam substrat yang minimum. Sentuhan yang baik mestilah sentuhan yang tidak mengganggu ciri elektrik peranti, iaitu mempunyai rintangan sentuh yang boleh diabaikan berbanding dengan rintangan peranti. Di antara logam yang boleh digunakan untuk tujuan sentuhan ohm ialah emas, aluminium, nikel, plumbum, perak dan krominium. Selain daripada logam tersebut polisikon juga digunakan untuk tujuan penyambungan terutama bagi peranti CMOS. Bagi peranti silikon, aluminium telah didapati lebih sesuai sebagai pengalir dan elektrod kerana boleh melekat dengan baik di atas silikon dan silikon oksida.Aluminium merupakan
pengalir yang baik dan mampu untuk membawa ketumpatan yang tinggi, keadaan ini boleh mengelak berlakunya fenomena elektromigrasi.

Kesan Dimensi Talian Terhadap Masa Lengah RC

Rintangan sesuatu logam adalah penting dalam pelogaman litar bersepadu terutama VLSI. Selain dari mengawal arus yang melalui antara sambungan, rintangan juga memainkan peranan penting dalam menentukan ciri sesuatu peranti MOS. Ini kerana ciri pensuisan MOS bergantung pada pemalar masa RC. Nilai RC yang tinggi akan menyebabkan kelajuan operasi transistor perlahan. Oleh itu,jumlah rintangan mestilah dibuat sekecil mungkin untuk mengurangkan pemalar masa. Bagi suatu logam, rintangan boleh dikurangkan dengan meminimumkan panjangnya atau melebarkannya.

|| Isi Kandungan || Sekalung Penghargaan || Pengenalan || Sistem Aliminium-Silikon ||
|| Teknik Penglogaman || Masalah Penglogaman || Silisida || Rujukan ||